特許
J-GLOBAL ID：200903039558558813
近接場光プローブおよびそれを用いた近接場光学顕微鏡および光記録/再生装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
作田 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-073922
公開番号（公開出願番号）：特開2001-255254
出願日： 2000年03月13日
公開日（公表日）： 2001年09月21日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、光利用効率が高く、高速走査が可能で、検出される光に含まれるバックグランド光が少ない近接場光プローブおよびその製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】 基板11の上に円錐体または多錐体または平面楕円体または三角形の形状をした金属の散乱体12を形成し、その散乱体の周辺に散乱体の高さと同じ膜厚を持つ金属または誘電体または半導体などの膜13を形成する。
請求項（抜粋）：
基板上に、軸が基板表面と垂直な円錐または多角錐の形状をした金属の散乱体を有することを特徴とする近接場光プローブ。
IPC (7件)：
G01N 13/14
, G01N 13/10
, G02B 3/00
, G02B 5/00
, G02B 5/32
, G11B 7/135
, G12B 21/06
G01N 13/14 B
, G01N 13/10 G
, G02B 3/00 Z
, G02B 5/00 Z
, G02B 5/32
, G11B 7/135 A
, G12B 1/00 601 C
2H042AA18
, 2H042AA23
, 2H042AA31
, 2H049CA05
, 2H049CA20
, 5D119AA11
, 5D119AA22
, 5D119BA01
, 5D119CA06
, 5D119DA01
, 5D119DA05
, 5D119JA34
