特許
J-GLOBAL ID：200903064155595560
X線反射波撮像装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
尾関 伸介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-322333
公開番号（公開出願番号）：特開2005-091053
出願日： 2003年09月12日
公開日（公表日）： 2005年04月07日
要約：
【課題】プラスチックパッケージに納められ半導体集積回路装置における微細なアルミニューム配線の画像をパッケージの画像から区別して識別可能にするX線反射波撮像装置の提供。 【解決手段】X線管1のX線照射口1aから出射されるX線は、X線回転フィルタ2のX線スリットでペンシルビーム状に絞られ、入射X線101としてサンプル10に入射される。サンプル10で散乱された反射X線103の内の特定の方向に反射されたものだけが、X線透過スリット51aを透過し、X線ラインスキャナ52に入射する。反射X線103における線量率は、サンプル10がアルミニュームであるとき、鉛や鉄であるときよりも大きく、また反射X線103の反射角度が大きいほど大きい。X線透過スリット51aの透過方向を反射角度の大きくなる向きとすることにより、プラスチックパッケージ中のアルミニューム配線の画像をプラスチックパッケージの画像から区別できる。 【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
X線を撮像対象物に照射するX線照射手段と、該撮像対象物で反射された反射X線の像を形成する反射波撮像手段とを備え、
前記X線照射手段は、X線を発生するX線発生部と該X線発生部で発生したX線の広がり径を狭く絞り、前記撮像対象物に入射する入射X線をビーム状とするX線絞り部とを備え、
前記反射波撮像手段は、前記反射X線のうちの所定方向から到来するもののみを選択的に透過させる透過X線方向選択部と、該透過X線方向選択部を透過したX線を検知し、該透過X線に基づきX線像信号を生成するX線像信号生成部とを備える
ことを特徴とするX線反射波撮像装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (13件)：
2G001AA01
, 2G001BA15
, 2G001CA01
, 2G001GA06
, 2G001GA13
, 2G001HA09
, 2G001HA13
, 2G001JA04
, 2G001KA01
, 2G001LA11
, 2G001NA06
, 2G001NA17
, 2G001SA02
出願人引用 (3件)
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特開平2-31144
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X線断層面検査装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2000-144744
出願人：株式会社島津製作所
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米国特許No.4,799,247
審査官引用 (2件)
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散乱線画像化装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平3-337463
出願人：株式会社東芝
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放射線検査装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平4-184258
出願人：株式会社東芝
引用文献：
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