X線断層面検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：竹本松司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-144744
公開番号（公開出願番号）：特開2001-324456
出願日： 2000年05月17日
公開日（公表日）： 2001年11月22日
要約：

【要約】【課題】特殊な光学系を用いることなく、また少ない部品点数で簡易な構成によって鮮明なX線画像を得ることができるX線断層面検査装置を提供する。【解決手段】被検査体Sに対してX線を照射するX線源2と、被検査体を回転させる第1の回転手段(回転ステージ4)と、被検査体と透過した透過X線像を光学像に変換するX線-光学像変換手段(X線I.I5)と、光学像を撮像する撮像手段8と、撮像手段を第1の回転手段と同期して回転させる第2の回転手段(回転機構6)と、各回転角度の複数の画像を合成して、被検査体の断層画像を生成する画像処理手段9とを備え、被検査体を回転させながら透過X線像を検出すると共に、透過X線から光学像を得る撮像手段を被検査体の回転と同期させて回転させることによって、高い鮮明度のX線画像を得る。

請求項（抜粋）：

被検査体に対してX線を照射するX線源と、被検査体を回転させる第1の回転手段と、被検査体と透過した透過X線像を光学像に変換するX線-光学像変換手段と、前記光学像を撮像する撮像手段と、前記撮像手段を第1の回転手段と同期して回転させる第2の回転手段と、各回転角度の複数の画像を合成して、被検査体の断層画像を生成する画像処理手段とを備える、X線断層面検査装置。

Fターム (18件)：

2G001AA01 , 2G001BA11 , 2G001CA01 , 2G001FA06 , 2G001GA06 , 2G001GA13 , 2G001HA01 , 2G001HA07 , 2G001HA12 , 2G001HA13 , 2G001HA14 , 2G001JA06 , 2G001JA08 , 2G001JA11 , 2G001KA03 , 2G001LA11 , 2G001MA05 , 2G001PA12

引用特許：

審査官引用 (8件)

X線断層撮影方法及びその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-145796 出願人：富士通株式会社
特許第2925841号
特許第2925841号

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