特許
J-GLOBAL ID:200903064179206599

移動式補充ユニット

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 龍華 明裕 ,  飯山 和俊
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-343284
公開番号(公開出願番号):特開2008-157476
出願日: 2006年12月20日
公開日(公表日): 2008年07月10日
要約:
【課題】移動式補充ユニット側の作業者がクリーンユニットの開閉部を容易に開閉することができる。【解決手段】床に載置されるクリーンユニットと、床に対して移動する移動式補充ユニットとを備えるクリーンユニットシステムであって、クリーンユニットは、外部から隔離された作業スペースを形成する隔壁、作業物を載せる作業台、作業スペースの内部にクリーンエアを供給するクリーンエア供給部、作業スペースの内部と外部とを繋ぐ開口、および、開口を開閉する開閉部を有し、移動式補充ユニットは、外部から隔離され、補充物を内部に収容する箱体、箱体の下側に配される台車、箱体の内部と外部とを繋ぐ開口、および、開口を開閉する開閉部を有し、移動式補充ユニットの開口は、クリーンユニットの開口に対応した位置に配され、移動式補充ユニットをクリーンユニットに連結した場合に、移動式補充ユニットの開口は、クリーンユニットの開口に接続する。【選択図】図10
請求項(抜粋):
床に対して移動する移動式補充ユニットであって、 外部から隔離され、作業物を内部に収容する箱体と、 前記箱体の下側に配される台車と、 前記箱体に設けられ、前記箱体の内部と外部とを繋ぐ開口と、 前記開口に対して上下に摺動することにより前記開口を開閉する開閉部と、 前記開閉部を上向きに付勢する付勢部と、 前記開閉部が前記開口を閉じている状態で前記開閉部を固定するロック部と を備える移動式補充ユニット。
IPC (2件):
F24F 7/06 ,  H01L 21/02
FI (2件):
F24F7/06 C ,  H01L21/02 D
Fターム (2件):
3L058BF03 ,  3L058BF08
引用特許:
出願人引用 (1件)
  • クリーンユニット
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2004-156118   出願人:アルプス電気株式会社

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