特許

J-GLOBAL ID：200903064190191307

集積された赤外線マイクロレンズおよび真空パッケージのガス分子ゲッタ格子

発明者： マイケル・レイ ,  アダム・エム・ケネディー
出願人/特許権者： エイチイー・ホールディングス・インコーポレーテッド・ディービーエー・ヒューズ・エレクトロニクス
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-327962
公開番号（公開出願番号）：特開平10-239157
出願日： 1997年11月28日
公開日（公表日）： 1998年09月11日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、高い検出効率を保持し、しかも大きい面積のゲッタ材料を使用することのできる密封されたIRウィンドウを備えたデューアアセンブリを提供することを目的とする。【解決手段】 基体2 と、この基体2 上の複数の赤外線検出器6 と、透過するIR放射をそれぞれのIR検出器へ焦点を結ばせるように位置されている複数のマイクロレンズ12を有し、真空の容器を形成するように基体2 に密封されているIRウィンドウ10とを備えていることを特徴とする。IRウィンドウ10はさらに周辺部に複数の突出部14を具備しており、この突出部14の表面には容器内の残留ガス分子と化学反応しガス分子を除去するゲッタ材料15が被覆されている。

請求項（抜粋）：

基体と、前記基体上の複数の赤外線検出器と、透過するIR放射をそれぞれのIR検出器へ焦点を結ばせるように位置されている複数のマイクロレンズを具備し、実質上真空の容器を形成するように前記基体に関して密封されているIRウィンドウとを具備していることを特徴とする真空密封されたデューアアセンブリ。

IPC (2件)：

G01J 5/02 ,  G01J 1/02

FI (3件)：

G01J 5/02 F ,  G01J 5/02 B ,  G01J 1/02 Q

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 赤外線撮像素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-293256   出願人：日本電気株式会社
• 赤外線検出器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-269671   出願人：三菱電機株式会社