特許

J-GLOBAL ID：200903064205446935

微小物の接合方法

発明者： 畠山 雅規 ,  一木 克則 ,  加藤 隆男 ,  畑村 洋太郎 ,  中尾 政之
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所 ,  畑村 洋太郎
代理人 (1件)： 渡邉 勇 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-088738
公開番号（公開出願番号）：特開平8-318378
出願日： 1996年03月18日
公開日（公表日）： 1996年12月03日
要約：

【要約】【課題】 μm・nmオーダの立体的な構造の微細構造物を形成することができる微小物の接合方法を提供する。【解決手段】 エネルギービーム源3,40,50からのエネルギービームBを複数の試料W1,W2・・の表面に照射し、照射面どうしを密着させて加圧することにより両者を接合する微小物の接合方法において、上記エネルギービームとして、エネルギーイオンと高速原子をその比率を制御して混在させたエネルギービームBを用いる。

請求項（抜粋）：

エネルギービーム源からのエネルギービームを複数の試料の表面に照射し、照射面どうしを密着させて加圧することにより両者を接合する微小物の接合方法において、上記エネルギービームとして、エネルギーイオンと高速原子をその比率を制御して混在させたエネルギービームを用いることを特徴とする接合方法。

IPC (5件)：

B23K 15/00 501 ,  B23K 15/00 504 ,  B23K 15/02 ,  B23K 15/10 ,  H05H 3/02

FI (5件)：

B23K 15/00 501 A ,  B23K 15/00 504 D ,  B23K 15/02 A ,  B23K 15/10 ,  H05H 3/02

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭63-224885
  
• 高速原子線源
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-227993   出願人：株式会社荏原製作所