センサ素子及び粒子センサ

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡邉一平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-304579
公開番号（公開出願番号）：特開平7-301594
出願日： 1994年12月08日
公開日（公表日）： 1995年11月14日
要約：

【要約】【目的】検出精度、耐久性に優れ、しかも安価なセンサ素子及び粒子センサを提供すること。【構成】セラミックスからなる圧電体膜(22)と、圧電体膜(22)の外表面(22s)を被覆する第一電極(24)と、圧電体膜(22)の内表面(22t)を被覆する第二電極(26)とを有する検出部(20)と、検出部(20)を載置して、セラミックスからなる振動部(14)と、振動部(14)が振動できるように、振動部(14)を固定する固定部(16)とを有するセンサ素子(10)であって、振動部(14)の表面(14s)を第二電極(26)が被覆していて、検出部(20)又は振動部(14)を流体中の粒子に接触させることにより、圧電体膜(22)がこの振動形態を電気信号に変換するセンサ素子。このセンサ素子を用いた粒子センサ。

請求項（抜粋）：

流体中の異物である固体粒子を検出するための素子であって、該固体粒子の衝突に対して感応できる程度の質量を有する振動部と、該振動部の振動を検出し電気信号に変換する装置とを含むことを特徴とするセンサ素子。

IPC (5件)：

G01N 15/02 , G01N 15/06 , G01V 9/00 , H01L 41/08 , H02N 2/00

引用特許：

出願人引用 (10件)

圧電/電歪膜型素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-203831 出願人：日本碍子株式会社
特開昭54-046597
特開昭62-280634

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審査官引用 (10件)

圧電/電歪膜型素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-203831 出願人：日本碍子株式会社
特開昭54-046597
特開昭62-280634

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