ペリクル

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-060611
公開番号（公開出願番号）：特開2001-330943
出願日： 2001年03月05日
公開日（公表日）： 2001年11月30日
要約：

【要約】【課題】波長200nm以下の短波長光に対して高透過率で耐久性の高い含フッ素ポリマーを膜材料または接着剤材料とするペリクルの提供。【解決手段】主鎖の炭素原子として水素原子が結合した炭素原子と水素原子が結合せずかつフッ素原子または含フッ素有機基が結合した炭素原子とを含む含フッ素ポリマー(A)をペリクル膜またはペリクル膜と枠体との接着剤として用いた、波長200nm以下の光による露光処理用のペリクル。

請求項（抜粋）：

波長200nm以下の光による露光処理用のペリクルであって、該ペリクルの膜または該ペリクルの膜と枠体との接着剤が下記含フッ素ポリマー(A)からなることを特徴とするペリクル。含フッ素ポリマー(A):炭素原子の連鎖を主鎖とする実質的に線状の含フッ素ポリマーであって、主鎖の炭素原子として1個または2個の水素原子が結合した炭素原子と水素原子が結合せずかつフッ素原子または含フッ素有機基が結合した炭素原子とを含む含フッ素ポリマー。

IPC (3件)：

G03F 1/14 , H01L 21/027 , C09J127/12

FI (3件)：

G03F 1/14 J , C09J127/12 , H01L 21/30 502 P

Fターム (20件)：

2H095BB08 , 2H095BC32 , 2H095BC33 , 2H095BC39 , 4J040DA011 , 4J040DA091 , 4J040DC091 , 4J040GA01 , 4J040GA07 , 4J040GA13 , 4J040GA20 , 4J040GA22 , 4J040GA25 , 4J040GA31 , 4J040LA02 , 4J040LA07 , 4J040MA02 , 4J040MA10 , 4J040NA20 , 4J040NA21

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平3-174450
特開平3-067262
特開平3-174450

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