特許

J-GLOBAL ID：200903064242685303

ニュートラライザ

発明者： 小室 弘之 ,  瀧本 昌行 ,  布施 豊 ,  阿部 辰弥 ,  青名端 一仁
出願人/特許権者： 株式会社昭和真空
代理人 (8件)： 岡部 正夫 ,  加藤 伸晃 ,  産形 和央 ,  臼井 伸一 ,  越智 隆夫 ,  本宮 照久 ,  朝日 伸光 ,  三山 勝巳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-172320
公開番号（公開出願番号）：特開2005-350721
出願日： 2004年06月10日
公開日（公表日）： 2005年12月22日
要約：

【課題】 電極が熱膨張しても歪みや破損のないニュートラライザを低コストかつ高メンテナンス性な構成にて提供する。【解決手段】 フィラメント、フィラメントに電流を流す一対の電極、及び、一対の電極を絶縁状態で支持するベースを有するニュートラライザであって、一対の電極とベースとを相対位置が少なくとも一方向に変動可能な状態で保持する保持手段を有する構成とした。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

フィラメント、該フィラメントに電流を流す一対の電極、及び、該一対の電極を絶縁状態で支持するベースを有するニュートラライザであって、 該一対の電極と該ベースとを相対位置が少なくとも一方向に変動可能な状態で保持する保持手段を有することを特徴とするニュートラライザ。

IPC (1件)：

C23C14/22

FI (1件)：

C23C14/22 A

Fターム (1件)：

4K029CA09

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 成膜装置、成膜方法および光学素子の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-296672   出願人：古河電気工業株式会社