特許

J-GLOBAL ID：200903064249799959

回転カップ式液体供給装置

発明者： 佐合 宏仁 ,  藤山 重美 ,  島井 太 ,  永澤 耕一
出願人/特許権者： 東京応化工業株式会社
代理人 (1件)： 小山 有 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-281159
公開番号（公開出願番号）：特開平9-122561
出願日： 1995年10月30日
公開日（公表日）： 1997年05月13日
要約：

【要約】【課題】 従来の回転カップ式液体供給装置では、ドレインの回収が効果的になされていない。【解決手段】 ドレイン回収通路4を形成したインナーカップ3は、中央部に被処理物Wを保持する真空チャック5を配置し、この真空チャック5を囲むようにインナーカップ3上にトレー7を固定している。このトレー7は外形が略四角形状をなし、中央には開口8が形成され、周縁部には内方に折れ曲がった庇状壁部9が設けられ、更にトレー7の各隅部からはドレイン誘導管10が所定の角度で導出され、また前記トレー7の上面に、中央部に板状被処理物Wよりも若干大きめの開口11aが形成されカバー11が着脱自在に取り付けられる。

請求項（抜粋）：

アウターカップ内にスピンナーによって回転せしめられるインナーカップが設けられ、このインナーカップの中央に板状被処理物を保持する手段が設けられ、この保持手段が露出するようにインナーカップの内上面に板状被処理物を囲むトレーが固設されていることを特徴とする回転カップ式液体供給装置。

IPC (5件)：

B05C 11/08 ,  G03F 7/16 502 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/31 ,  H01L 21/316

FI (5件)：

B05C 11/08 ,  G03F 7/16 502 ,  H01L 21/31 A ,  H01L 21/316 G ,  H01L 21/30 564 C

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 塗布装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-355935   出願人：東京応化工業株式会社
• 回転カップ式塗布装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-349775   出願人：東京応化工業株式会社
• 特開平4-074564
  
• 特開平4-066159