光モジュール及びその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長谷川芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-083004
公開番号（公開出願番号）：特開平10-282370
出願日： 1997年04月01日
公開日（公表日）： 1998年10月23日
要約：

【要約】【課題】製造の自動化、結合損失の低減化に好適な光モジュールを提供する。【解決手段】異方性エッチングによりシリコン基板2の一側端に長溝4とそれに対して直交する横溝6が形成されている。長溝4はV字状又は台形状の凹断面に形成され、横溝6は矩形断面に形成されている。光ファイバ素線8がフェルール10に挿入固定されて一体化され、両者の先端面8a,10aが研磨加工されて無反射コーティングが施されている。フェルール10が長溝4中に配設され且つ先端面10aが横溝6の側壁に当接した状態で基板2に固定されることにより、基板2に固定されている発光素子LD又は受光素子PDと光ファイバ素線8が光結合している。この光モジュールは、光ファイバ素線8をフェルール10に挿入固定することで機械強度が増し、また、先端面8a,10aの研磨加工精度を向上させることができる。

請求項（抜粋）：

光ファイバ素線を挿入固定したフェルールと、基板の一側端に形成された、長溝及び前記長溝の長手方向に対して直交する側壁と、前記長溝の長手方向の所定位置であって前記側壁の近傍に固定された発光素子又は受光素子とを有し、前記フェルールが前記長溝中に配設されると共に、前記フェルールの先端面が前記側壁に当接された状態で前記基板に固定されることにより、前記光ファイバ素線と前記発光素子又は受光素子とが光結合する光モジュールであって、前記長溝は前記フェルールの外周面と線接触する側端面を有する凹断面形状に形成され、前記光ファイバ素線及びフェルールの両先端面が長手方向に対して垂直且つ平坦に研磨されていることを特徴とする光モジュール。

IPC (4件)：

G02B 6/42 , H01L 31/0232 , H01L 33/00 , H01S 3/18

FI (4件)：

G02B 6/42 , H01L 33/00 M , H01S 3/18 , H01L 31/02 C

引用特許：

審査官引用 (3件)

光結合回路
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-125634 出願人：日本電気株式会社
特開昭63-012187
光学装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-236407 出願人：富士通株式会社

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