特許
J-GLOBAL ID：200903064287974772

ガラス基板検査装置

発明者：
菅原 正行

菅原 正行 について


出願人/特許権者：
大日本印刷株式会社

大日本印刷株式会社 について


代理人 (1件)： 米田 潤三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-217790
公開番号（公開出願番号）：特開平10-048144
出願日： 1996年07月31日
公開日（公表日）： 1998年02月20日
要約：
【要約】【課題】 切断工程を経たガラス基板上に残存する微小ガラス屑を高い信頼性で検出することができるガラス基板検査装置を提供する。【解決手段】 線状照射光源と光検出器を備え、線状照射光源からガラス基板に対して低角度で線状照射された検査光のうちガラス基板上において反射された散乱光を光検出器で受光し、その信号を画像信号として処理し、その強度分布から所定量以上の散乱光が生じている箇所を検出することにより、微小ガラス屑を検出するような構成とした。
請求項（抜粋）：
ガラス基板に対して低角度で検査光を線状照射する線状照射光源、該線状照射光源からガラス基板に照射された検査光のうちガラス基板上において散乱された散乱光を検出するための光検出器とを備えることを特徴とするガラス基板検査装置。
IPC (2件)：
G01N 21/88 ,  G01B 11/30
FI (2件)：
G01N 21/88 D ,  G01B 11/30 Z
引用特許：
審査官引用 (10件)
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