微小領域走査装置および走査型プローブ顕微鏡

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：坂上正明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-119754
公開番号（公開出願番号）：特開2001-305036
出願日： 2000年04月20日
公開日（公表日）： 2001年10月31日
要約：

【要約】【課題】 SPMで用いられる、高速、高分解能の微小領域走査装置を提供すること。【解決手段】微小領域走査装置は、下段には共振周波数が低く、最大変位量の大きな粗動用円筒型圧電素子1が組み込まれ、試料台4を大きくXYZ方向に駆動することが可能となる。また、粗動用円筒型圧電素子1に取り付けられた支持具3の上に、最大変位量が小さく、共振周波数が高い、微動用円筒型圧電素子2が組み付けられており、この圧電素子により微小領域をすばやく走査することが可能となる。この微動円筒型圧電素子2による微小領域の高速走査と、粗動用円筒型圧電素子1の高速走査領域の位置調整により、試料3を高速に、かつ高分解能に走査することが可能となる。

請求項（抜粋）：

走査対象物をX、Yそれぞれの方向に走査可能な微小領域走査装置において、広い領域を駆動可能な低共振特性圧電素子と、狭い領域を高速に駆動可能な高共振特性圧電素子から成り、かつまた広い領域を駆動可能な低共振特性圧電素子による走査と、狭い領域を高速に駆動可能な高共振特性圧電素子による狭い領域の走査を組み合わせる圧電素子制御手段を有すること、を特徴とする微小領域走査装置。

IPC (4件)：

G01N 13/10 , G01B 21/30 , H01L 41/09 , H01L 41/083

FI (6件)：

G01N 13/10 C , G01N 13/10 B , G01B 21/30 Z , H01L 41/08 U , H01L 41/08 J , H01L 41/08 N

Fターム (15件)：

2F069AA04 , 2F069AA60 , 2F069DD15 , 2F069DD19 , 2F069DD20 , 2F069GG04 , 2F069GG62 , 2F069HH04 , 2F069JJ07 , 2F069JJ14 , 2F069LL03 , 2F069MM32 , 2F069MM34 , 2F069MM38 , 2F069RR03

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開平2-243907
走査型トンネル顕微鏡の画像処理方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-189531 出願人：オリンパス光学工業株式会社

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