特許
J-GLOBAL ID：200903064335891833
表面状態検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
則近 憲佑
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-069498
公開番号（公開出願番号）：特開平6-043127
出願日： 1993年03月29日
公開日（公表日）： 1994年02月18日
要約：
【要約】【構成】 ガラス板などの被検体12の一主面と略一致する開口部を有する蒸気槽13内に所定条件の水蒸気を充満させ、その開口部下を被検体12を通過させることで形成された呼気像をカメラ、ラインセンサ等の画像取込装置28で取り込む。【効果】 被検体の観察領域のほぼ全領域に渡って呼気像の形成条件を均一にでき、結露状態を観察するという簡便な方法で被検体表面の汚れなどのムラを検出することができる。
請求項（抜粋）：
被検体の観察領域と略一致する開口部を有する蒸気槽と、前記被検体の観察領域を含む一主面を前記開口部に対して近接保持する手段と、少なくとも前記被検体が前記開口部付近に保持される直前に前記蒸気槽内部に前記被検体観察領域の表面温度に対し過飽和な蒸気雰囲気を充満させる手段と、前記被検体が前記開口部付近に近接保持されることによって前記被検体表面に形成される呼気像を感知し、表面の異常を検出する手段を具備することを特徴とする表面状態検査装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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