特許
J-GLOBAL ID：200903064360818121
研削砥石のドレッシング装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
河内 潤二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-209413
公開番号（公開出願番号）：特開2006-026804
出願日： 2004年07月16日
公開日（公表日）： 2006年02月02日
要約：
【課題】シリコンウエーハの研削装置において、高価な装置を使用することなく、ウエーハの被加工面性状を改善できるインプロセスドレッシング装置を提供。【解決手段】被加工物1を研削加工する円板状砥石の環状砥粒面4の研削加工位置2から離隔した離隔位置9にある環状砥粒面13に隙間11を介してドレッシング板10を配置し、ドレッシング板10には製氷器14が連結されかつドレッシング板10上と離隔位置9にある環状砥粒面13との隙間11にはノズル12により供給された水15が氷結して連続して氷面16が形成されるようにされ、離隔位置9にある環状砥粒面13に対してドレッシング板10上に形成した氷面16を当接させ、被加工物1を研削しつつ離隔位置9にある環状砥粒面13が、氷面16を研削することによりドレッシング及び洗浄される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
カップ砥石を含む円板状砥石の環状砥粒面を、シリコンウエーハを含む円板状被加工物に当接させ被加工物を研削する研削装置において、前記被加工物を研削加工する前記円板状砥石の環状砥粒面の研削加工位置から離隔した離隔位置にある環状砥粒面に隙間を介してドレッシング板を配置し、前記ドレッシング板には製氷器が連結され、かつ前記ドレッシング板上と離隔位置にある前記環状砥粒面との間の隙間にはノズルにより供給された水が氷結して連続して氷面を形成するようにされ、前記離隔位置にある環状砥粒面に対して前記ドレッシング板上に形成した氷面を当接させ、前記研削加工位置で円板状砥石の環状砥粒面で被加工物を研削しながら前記離隔位置にある環状砥粒面が、前記氷面を研削することによりドレッシング及び洗浄されるようにしたことを特徴とする研削砥石のドレッシング装置。
IPC (4件)：
B24B 53/00
, B24B 53/007
, B24B 53/053
, H01L 21/304
B24B53/00 Z
, B24B53/007
, B24B53/053
, H01L21/304 622F
3C047AA12
, 3C047AA13
, 3C047AA15
, 3C047BB01
, 3C047BB16
, 3C047EE11
