特許

J-GLOBAL ID：200903064401096527

感放射線性樹脂組成物

発明者： 清水 大輔 ,  矢田 勇二 ,  永井 智樹
出願人/特許権者： JSR株式会社
代理人 (1件)： 和気 操
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-045212
公開番号（公開出願番号）：特開2005-234377
出願日： 2004年02月20日
公開日（公表日）： 2005年09月02日
要約：

【課題】パターン形状、ドライエッチング耐性、耐熱性等のレジストとしての基本物性を損なうことなく、解像度およびラインエッジラフネスに優れる感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】アルカリ不溶性またはアルカリ難溶性であって酸の作用によりアルカリ易溶性となる酸解離性基含有樹脂(A)が、特定式で表される繰返し単位および特定式で表される繰返し単位を含む共重合体(A1)および共重合体(A2)との混合物を含有する。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

アルカリ不溶性またはアルカリ難溶性であって酸の作用によりアルカリ易溶性となる酸解離性基含有樹脂(A)と、感放射線性酸発生剤(B)とを含有する感放射線性樹脂組成物であって、 前記酸解離性基含有樹脂(A)は、下記式(1)で表される繰返し単位および下記式(3)で表される繰返し単位を含む共重合体(A1)と、下記式(2)で表される繰返し単位および前記式(3)で表される繰返し単位を含む共重合体(A2)との混合物を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (3件)：

G03F7/039 ,  G03F7/033 ,  H01L21/027

FI (3件)：

G03F7/039 601 ,  G03F7/033 ,  H01L21/30 502R

Fターム (15件)：

2H025AA03 ,  2H025AA09 ,  2H025AA10 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB14 ,  2H025CB16 ,  2H025CB17 ,  2H025CB45 ,  2H025FA17

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特公平2-27660号公報
  
• 特許第3072316号公報
  
• ポジ型レジスト組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-154908   出願人：東京応化工業株式会社