力変位センサ付カンチレバー

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：林敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-293148
公開番号（公開出願番号）：特開平9-133691
出願日： 1995年11月10日
公開日（公表日）： 1997年05月20日
要約：

【要約】【課題】高感度な力変位センサを集積した、原子間力顕微鏡等に用いられるカンチレバーを提供する。【解決手段】カンチレバーの力変位の検出に、圧電体に櫛形電極を設けた弾性表面波素子(SAW)を利用した共振器を使った。

請求項（抜粋）：

一端が支持台に固定されている片持ち梁構造のレバーと、レバーの先端に針状のチップと、レバーの変位を検出する検出部とからなり、この検出部が圧電体と金属電極からなる弾性表面波素子(SAW)であることを特徴とするカンチレバー。

IPC (3件)：

G01N 37/00 , H01J 37/28 , H01L 41/09

FI (3件)：

G01N 37/00 G , H01J 37/28 Z , H01L 41/08 C

引用特許：

審査官引用 (2件)

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