特許
J-GLOBAL ID：200903064483997276
プラスチックスシートからなる包装材料にガス遮断性に優れた珪素酸化物薄膜を被覆する方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡辺 秀夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-130941
公開番号（公開出願番号）：特開平8-290517
出願日： 1995年04月20日
公開日（公表日）： 1996年11月05日
要約：
【要約】【目的】 ガスバリヤ性の優れた包装材料を製造する方法を提供する。【構成】 珪素酸化物薄膜の製膜温度よりT.G.が高いプラスチックスシートからなる包装材料の一面に対向して被覆面との距離が10mm以下でほぼ一定である高周波電極を設置し、またシートの他の面に対向して被覆面との距離が高周波電極と被覆面の距離より大きくほぼ一定であるアース電極をシートを介して高周波電極に対向して配置して、CVD法により生成した珪素酸化物のプラズマをシートと電極の間に導入して放電ガス圧0.0005〜0.05torrでシート表面に均一の膜厚に付着させることを特徴とするプラスチックスシートからなる包装材料にガス遮断性に優れた珪素酸化物薄膜を被覆する方法である。
請求項（抜粋）：
珪素酸化物薄膜の製膜温度よりT.G.が高いプラスチックスシートからなる包装材料の一面に対向して被覆面との距離が10mm以下でほぼ一定である高周波電極を設置し、またシートの他の面に対向して被覆面との距離が高周波電極と被覆面の距離より大きくほぼ一定であるアース電極をシートを介して高周波電極に対向して配置して、CVD法により生成した珪素酸化物のプラズマをシートと電極の間に導入して放電ガス圧0.0005〜0.05torrでシート表面に均一の膜厚に付着させることを特徴とするプラスチックスシートからなる包装材料にガス遮断性に優れた珪素酸化物薄膜を被覆する方法。
IPC (7件)：
B32B 9/00
, B32B 7/02 105
, B32B 27/06
, B65D 65/40
, C08J 7/04
, C08J 7/06
, C23C 16/50
B32B 9/00 A
, B32B 7/02 105
, B32B 27/06
, B65D 65/40 D
, C08J 7/04 P
, C08J 7/06 Z
, C23C 16/50
