特許

J-GLOBAL ID：200903064485414790

アレイ導波路回折格子の製造方法

発明者： 賣野 豊
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 天野 広
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-333525
公開番号（公開出願番号）：特開2000-162453
出願日： 1998年11月25日
公開日（公表日）： 2000年06月16日
要約：

【要約】【課題】 アレイ導波路回折格子において、トリミング後は電力を必要とせず、素子の小型化・低価格化が可能であり、かつ、トリミングの偏光依存性の小さい光路長調整方法を提供する。【解決手段】石英系アレイ導波路回折格子におけるアレイ導波路2上に形成されている上層クラディング3上に紫外線を透過しないマスク材4を成膜し、各アレイ導波路2上のマスク材4を各アレイ導波路2毎に付与したい光路長に応じた長さだけ除去して窓4aを形成し、窓4aを通して各アレイ導波路2に紫外線6を照射し、紫外線照射部分7の屈折率を上昇させることにより光路長を調整する。

請求項（抜粋）：

石英系アレイ導波路回折格子の少なくとも各アレイ導波路の部分の上層クラディング上に紫外線を透過しないマスク材を成膜する第1の過程と、前記各アレイ導波路毎に所望の光路長に応じた長さの窓を前記マスク材に形成する第2の過程と、前記窓を介して前記各アレイ導波路に紫外線を照射し、紫外線を照射した部分の屈折率を上昇させることにより光路長を調整する第3の過程と、を有することを特徴とするアレイ導波路回折格子の製造方法。

IPC (3件)：

G02B 6/12 ,  G02B 5/18 ,  G02B 6/13

FI (4件)：

G02B 6/12 F ,  G02B 5/18 ,  G02B 6/12 M ,  G02B 6/12 N

Fターム (15件)：

2H047KA04 ,  2H047LA19 ,  2H047PA01 ,  2H047PA05 ,  2H047PA22 ,  2H047PA24 ,  2H047PA30 ,  2H047QA04 ,  2H047TA00 ,  2H049AA33 ,  2H049AA37 ,  2H049AA45 ,  2H049AA48 ,  2H049AA59 ,  2H049AA62

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 光回路の特性調整方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-093125   出願人：日本電信電話株式会社
• 特開平4-298702
  
• 特開平4-298702