特許

J-GLOBAL ID：200903064510647118

試料加熱装置及びその製造方法

発明者： 中村 恒彦
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-019216
公開番号（公開出願番号）：特開2003-224044
出願日： 2002年01月28日
公開日（公表日）： 2003年08月08日
要約：

【要約】【課題】加熱、冷却の繰り返しに伴う熱サイクルによってセラミックヒータ2とセラミック筒状支持体8とのセラミック接合層6にクラックが発生することを防止する。【解決手段】抵抗発熱体4を埋設した板状セラミック体3の一方の主面をウエハWの載置面5とするセラミックヒータ2の上記載置面5と反対側の表面中央に凸状部3aを設け、この凸状部3aに上記抵抗発熱体4と電気的に接続される給電端子9を備えるとともに、上記給電端子9を包囲するようにセラミック筒状支持体8をセラミック接合層6を介して焼結により接合一体化するとともに、凸状部3aの外周面と、セラミック筒状支持体8の接合部外周面と、接合層6の外周面とが連続的につながった表面となるようにして試料加熱装置1を構成する。

請求項（抜粋）：

抵抗発熱体を埋設した板状セラミック体の一方の主面を試料を載せる載置面とし、他方の主面に上記抵抗発熱体と電気的に接続される給電端子を備えたセラミックヒータと、上記給電端子を包囲するように上記セラミックヒータの他方の主面側にセラミック接合層を介して接合一体化されたセラミック筒状支持体とからなる試料加熱装置において、上記セラミックヒータの上記セラミック筒状支持体との接合領域に凸状部を備え、該凸状部の外周面と、上記セラミック筒状支持体の上記凸状部との接合部外周面と、上記セラミック接合層の外周面とが連続的につながった表面からなることを特徴とする試料加熱装置。

IPC (5件)：

H01L 21/02 ,  H01L 21/68 ,  H05B 3/06 ,  H05B 3/62 ,  H05B 3/74

FI (5件)：

H01L 21/02 Z ,  H01L 21/68 N ,  H05B 3/06 B ,  H05B 3/62 ,  H05B 3/74

Fターム (28件)：

3K092PP09 ,  3K092PP20 ,  3K092QA05 ,  3K092QC38 ,  3K092RF03 ,  3K092RF11 ,  3K092RF27 ,  3K092TT02 ,  3K092TT16 ,  3K092TT30 ,  3K092UB02 ,  3K092VV09 ,  3K092VV12 ,  3K092VV31 ,  3K092VV34 ,  5F031CA02 ,  5F031HA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA37 ,  5F031JA01 ,  5F031JA21 ,  5F031JA46 ,  5F031MA28 ,  5F031MA29 ,  5F031MA32 ,  5F031NA01 ,  5F031NA05 ,  5F031PA30

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 試料加熱装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-186699   出願人：京セラ株式会社