ダイヤモンド被覆物品とその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：矢野正行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-195394
公開番号（公開出願番号）：特開平9-071498
出願日： 1996年07月04日
公開日（公表日）： 1997年03月18日
要約：

【要約】【課題】被覆した切削工具において、(1)ダイヤモンド被膜の表面平滑性を高め、(2)ダイヤモンド被膜自体の耐摩耗性を高く維持し、且つ(3)ダイヤモンド被膜の耐欠損性を高める。(4)ダイヤモンド被膜の厚みが20μ以上に形成しても上記効果を維持した高寿命の耐摩耗物品を提供する。【解決手段】基材と、基材の表面に少なくとも20μの全厚に被覆、積層された複数の多結晶ダイヤモンド膜の層とから実質的になり、該各多結晶ダイヤモンド膜の層が、厚さ6-13μ、膜の面方向の平均結晶径3-7μで、表面に露出した(111)配向のダイヤモンド結晶子を有し、1333cm<SP>-1</SP>付近に現れるダイヤモンドのラマンピーク最大強度をI(D)、1200cm<SP>-1</SP>と1600cm<SP>-1</SP>の間に現れる非ダイヤモンドのラマンピーク最大強度をI(U)とするとき、I(U)/I(D)<0.2であることを特徴とするダイヤモンド被覆物品。

請求項（抜粋）：

基材と、基材の表面に少なくとも20μの全厚に被覆、積層された複数の多結晶ダイヤモンド膜の層とから実質的になり、該各多結晶ダイヤモンド膜の層が、厚さ6-13μ、膜の面方向の平均結晶径3-7μで、表面に露出した(111)配向のダイヤモンド結晶子を有し、1333cm<SP>-1</SP>付近に現れるダイヤモンドのラマンピーク最大強度をI(D)、1200cm<SP>-1</SP>と1600cm<SP>-1</SP>の間に現れる非ダイヤモンドのラマンピーク最大強度をI(U)とするとき、I(U)/I(D)<0.2であることを特徴とするダイヤモンド被覆物品。

IPC (5件)：

C30B 29/04 , B32B 9/00 , C23C 16/26 , C23C 16/50 , B23B 27/14

FI (6件)：

C30B 29/04 X , C30B 29/04 D , B32B 9/00 A , C23C 16/26 , C23C 16/50 , B23B 27/14 A

引用特許：

審査官引用 (2件)

人工ダイヤモンド被覆膜
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-330687 出願人：日本精工株式会社
特開平2-233592

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