特許
J-GLOBAL ID：200903064547954266
基板搬送装置
出願人/特許権者：
大日本スクリーン製造株式会社
大日本スクリーン製造株式会社 について
代理人 (1件)： 大坪 隆司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-344773
公開番号（公開出願番号）：特開平9-162264
出願日： 1995年12月05日
公開日（公表日）： 1997年06月20日
要約：
【要約】【課題】 簡易な構成でありながら、正確に基板を搬送することのできる基板搬送装置を提供することを目的とする。【解決手段】 第1のチャック16は、支持具31に支持された左右一対のアーム30a、30bと、アーム30a、30bを開閉させるための一対のエアシリンダ32a、32bと、支持具31を介してアーム30a、30bを昇降させるためのエアシリンダ33と、エアシリンダ33をモータ18により駆動を受ける同期ベルト19に連結するための連結具34とを有する。各アーム30a、30bには基板Wの両端を支持するための各々2本の支持部材35a、35bが付設されており、各支持部材35a、35bの下端部には凸部36が形成されている。凸部36は、複数の搬送ローラ12によって水平方向に搬送された基板Wの下面より下方の位置まで下降した後、互いに近接する方向に移動し、基板Wの両端部の下面を支持して上昇する。
請求項（抜粋）：
基板を水平方向に搬送する第1の搬送機構と、前記第1の搬送機構により搬送された基板を支持して搬送する第2の搬送機構とを有する基板搬送装置であって、前記第2の搬送機構は、一対のアームと、前記各アームに付設され、前記基板の両端部の下面を支持するための支持部材と、前記支持部材の下端部が前記第1の搬送機構により搬送される基板の下面より上方に位置する第1の位置と第1の搬送機構により搬送される基板の下面より下方に位置する第2の位置との間で、前記一対のアームを上下方向に昇降させる昇降手段と、前記一対のアームが第2の位置に位置する状態において、前記各アームを互いに近接する方向に移動させることにより、前記基板を前記支持部材により支持させる移動手段と、を備えたことを特徴とする基板搬送装置。
IPC (3件)：
FI (3件)：
引用特許：
Copyright (c) 2009 Japan Science and Technology Agency. All Rights Reserved