特許
J-GLOBAL ID：200903075274085814
回転式基板乾燥装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-199104
公開番号（公開出願番号）：特開平7-029867
出願日： 1993年07月15日
公開日（公表日）： 1995年01月31日
要約：
【要約】【目的】 大型の角型基板であっても、反りを発生させること無く乾燥処理部に搬送できるようにする。【構成】 角型基板Wの互いに対向する二辺それぞれの外周縁に近い箇所を一対の第1の基板支持部材7,7で保持するとともに、二辺に直交する方向の二辺それぞれの中央部の近傍で角型基板Wの外周縁に近い箇所を一個の第2の基板支持部材8で保持し、角型基板Wを四方から挟み込む状態で、反りを発生させること無く搬送する。
請求項（抜粋）：
角型基板を載置して回転する基板保持手段と、未乾燥の前記角型基板を前記基板保持手段上に搬送する基板搬送手段とを備えた回転式基板乾燥装置において、前記基板搬送手段が、前記角型基板の互いに対向する二辺それぞれに対応して設けられて、前記角型基板の外周縁に近い箇所を保持する一対の第1の基板支持部材と、前記二辺に直交する方向の二辺それぞれに対応して設けられて、その辺の中央部の近傍で前記角型基板の外周縁に近い箇所を保持する一個の第2の基板支持部材と、を備えていることを特徴とする回転式基板乾燥装置。
IPC (4件)：
H01L 21/304 361
, B65G 49/06
, G02F 1/13 101
, H01L 21/68
