特許
J-GLOBAL ID：200903064567237536

窒化アルミニウム焼結体用接合剤、それを用いる窒化アルミニウム焼結体の接合方法、並びにそれを用いるプレートヒータ及び静電チャックの製造方法

発明者：
村松 滋子

村松 滋子 について

, 
青沼 伸一朗

青沼 伸一朗 について


出願人/特許権者：
東芝セラミックス株式会社

東芝セラミックス株式会社 について


代理人 (1件)： 高 雄次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-043813
公開番号（公開出願番号）：特開2000-239074
出願日： 1999年02月22日
公開日（公表日）： 2000年09月05日
要約：
【要約】【課題】 粒界成分が酸化イットリウムアルミニウム相のAlN焼結体同士の接合に際し、AlN焼結体に変形を生じないAlN焼結体用接合剤を提供する。【解決手段】 粒界成分が酸化イットリウムアルミニウム相のAlN焼結体同士を接合するものであって、AlN粉末100重量部、Y2 O3 換算でY化合物粉末0.5〜30重量部、及びLi2 O換算でLi化合物粉末が上記Y2 O3 換算量に対して外率で0.1〜100wt%の混合粉末からなる。
請求項（抜粋）：
粒界成分が酸化イットリウムアルミニウム相の窒化アルミニウム焼結体同士を接合するものであって、窒化アルミニウム粉末100重量部、イットリア換算でイットリウム化合物粉末0.5〜30重量部、及び酸化リチウム換算でリチウム化合物粉末が上記イットリア換算量に対して外率で0.1〜100wt%の混合粉末からなることを特徴とする窒化アルミニウム焼結体用接合剤。
IPC (4件)：
C04B 37/00 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 21/68 ,  H05B 3/20 393
FI (4件)：
C04B 37/00 A ,  H01L 21/68 R ,  H05B 3/20 393 ,  H01L 21/302 B
Fターム (32件)：
3K034AA02 ,  3K034AA10 ,  3K034AA20 ,  3K034AA34 ,  3K034BB06 ,  3K034BB14 ,  3K034BC03 ,  3K034BC04 ,  3K034BC16 ,  3K034CA02 ,  3K034CA22 ,  3K034CA27 ,  3K034HA01 ,  3K034HA10 ,  3K034JA01 ,  4G026BA16 ,  4G026BB16 ,  4G026BF04 ,  4G026BF06 ,  4G026BF43 ,  4G026BF44 ,  4G026BG05 ,  4G026BG23 ,  4G026BG26 ,  4G026BH06 ,  5F004AA01 ,  5F004BB22 ,  5F004BB26 ,  5F004BB29 ,  5F031HA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA16
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM