特許

J-GLOBAL ID：200903064578250461

リチウムハロボラサイト薄膜及びその製法

発明者： 長瀬 智美 ,  北村 孝雄 ,  和田 英男 ,  坂根 幸治
出願人/特許権者： 工業技術院長
代理人 (1件)： 工業技術院四国工業技術研究所長
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-093565
公開番号（公開出願番号）：特開平6-279195
出願日： 1993年03月29日
公開日（公表日）： 1994年10月04日
要約：

【要約】【構成】 リチウムアルコキシド及びホウ素アルコキシドのアルコール溶液に、水とハロゲン化アンモニウム又はハロゲン化水素を添加して調製したゾルを基板上にコートし、次いでハロゲンの蒸散を制御しながら仮焼成し、焼成して厚さ0.2〜5μmのリチウムハロボラサイト薄膜を得る。【効果】 上記薄膜は膜厚がきわめて薄く、かつ形状付与性に優れ、固体伝導体として有用で、特に薄膜電池の固体電解質用に好適である。

請求項（抜粋）：

一般式 Li4B7O12X(Xは1種又は2種以上のハロゲン元素である)で表わされるリチウムハロボラサイトから成り、かつ厚さが0.2μm〜5μmであることを特徴とするリチウムハロボラサイト薄膜。

IPC (6件)：

C30B 29/22 ,  C01B 35/06 ,  C01B 35/18 ,  C30B 7/02 ,  H01M 6/18 ,  H01M 10/39