特許
J-GLOBAL ID：200903064614120871

感光性樹脂前駆体組成物

発明者：
富川 真佐夫

富川 真佐夫 について

, 
奥田 良治

奥田 良治 について

, 
藤田 陽二

藤田 陽二 について


出願人/特許権者：
東レ株式会社

東レ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-285482
公開番号（公開出願番号）：特開2000-187317
出願日： 1999年10月06日
公開日（公表日）： 2000年07月04日
要約：
【要約】【課題】アルカリ現像可能な感光性組成物を提供する。【解決手段】(a)下記一般式(1)で表される構造単位を主成分とするポリマーと、(b)下記一般式(2)で表されるキノンジアジド化合物を含有することを特徴とする感光性樹脂前駆体組成物。【化1】(一般式(1)のR1は少なくとも2個以上の炭素原子を有する3価から8価の有機基を示し、R2は、少なくとも2個以上の炭素原子を有する2価から6価の有機基を示し、R3は水素、または炭素数1から10までの有機基を示す。nは10から100000までの整数、mは1から2までの整数、p、qは0から4までの整数である。pとqは同時に0になることはない。)【化2】(一般式(2)中、xは0から2までの整数であり、Qの全ては水素原子になることはない。)
請求項（抜粋）：
(a)下記一般式(1)で表される構造単位を主成分とするポリマーと、(b)下記一般式(2)で表される少なくとも1つのキノンジアジド化合物を含有することを特徴とする感光性樹脂前駆体組成物。【化1】(一般式(1)のR1は少なくとも2個以上の炭素原子を有する3価から8価の有機基を示し、R2は、少なくとも2個以上の炭素原子を有する2価から6価の有機基を示し、R3は水素、または炭素数1から10までの有機基を示す。nは10から100000までの整数、mは1から2までの整数、p、qは0から4までの整数である。pとqは同時に0になることはない。)【化2】(一般式(2)中、xは0から2までの整数であり、1つのキノンジアジド化合物においてQの全てが水素原子になることはない。)
IPC (6件)：
G03F 7/022 601 ,  C08K 5/42 ,  C08L 77/06 ,  C08L 79/08 ,  G03F 7/037 501 ,  H01L 21/027
FI (6件)：
G03F 7/022 601 ,  C08K 5/42 ,  C08L 77/06 ,  C08L 79/08 A ,  G03F 7/037 501 ,  H01L 21/30 502 R
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM