レーザ加工装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐々木聖孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-123591
公開番号（公開出願番号）：特開2001-308428
出願日： 2000年04月25日
公開日（公表日）： 2001年11月02日
要約：

【要約】【課題】レーザ出力波形制御の精度ないし信頼性を向上させ、レーザ出力の立ち上がり特性を改善すること。【解決手段】IGBT32がオンするとレーザ電源部102からの電流がスイッチング素子32を介してレーザ発振部100の励起ランプ20に供給され、励起ランプ20が点灯してレーザ光LBが発振出力される。スイッチング制御部50は、レーザ出力測定部38からのレーザ出力測定値信号SLを主フィードバック信号にするとともに、電力演算回路44からのランプ電力測定値信号SPもしくは電流測定回路46からのランプ電流測定値信号SIの交流分SPc(SIc)を補正用の副フィードバック信号とし、これらのフィードバック信号SL,SPc(SIc)をCPU34からの所望のパルス波形を有する基準信号Srefと比較して比較誤差を求め、この比較誤差を零にするように、たとえばPWM方式のスイッチング制御信号SWを生成し、このスイッチング制御信号SWにより駆動回路52を介してIGBT32をスイッチング制御する。

請求項（抜粋）：

励起用光源より発せられる励起光のエネルギーで固体レーザ媒体を励起してレーザ光を発振出力するレーザ発振部と、前記励起用光源に電力を供給するレーザ電源部と、前記レーザ光の出力を測定するレーザ出力測定手段を有し、前記レーザ出力測定手段からのレーザ出力測定値をフィードバック信号として、前記フィードバック信号と予め設定された基準値との誤差に基づいてレーザ光の出力を制御するパワーフィードバック型のレーザ加工装置において、前記励起光源に供給される電力を測定する電力測定手段を具備し、前記電力測定手段からの電力測定値を表す信号の交流分により前記フィードバック信号を補正してレーザ光の出力を制御することを特徴とするレーザ加工装置。

IPC (2件)：

H01S 3/131 , B23K 26/00

FI (2件)：

H01S 3/131 , B23K 26/00 N

Fターム (17件)：

4E068CA02 , 4E068CB01 , 4E068CC00 , 4E068CK01 , 5F072AB01 , 5F072AK01 , 5F072HH02 , 5F072HH06 , 5F072JJ05 , 5F072JJ09 , 5F072KK05 , 5F072MM04 , 5F072PP01 , 5F072SS06 , 5F072TT01 , 5F072TT22 , 5F072YY06

引用特許：

審査官引用 (5件)

レーザ加工装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-059012 出願人：ミヤチテクノス株式会社
レーザ加工装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-153550 出願人：ミヤチテクノス株式会社
特開昭63-073681

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