特許

J-GLOBAL ID：200903064626272812

感光性ペーストおよびそれを用いたプラズマディスプレイパネルの製造方法

発明者： 堀内 健 ,  正木 孝樹 ,  井口 雄一朗
出願人/特許権者： 東レ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-200397
公開番号（公開出願番号）：特開平11-044949
出願日： 1997年07月25日
公開日（公表日）： 1999年02月16日
要約：

【要約】【課題】高アスペクト比かつ高精度のパターン加工を可能にする感光性ペーストとそれを用いたプラズマディスプレイパネルの製造方法を提供する。【解決手段】無機微粒子と感光性化合物を含む有機成分を必須成分とする感光性ペーストにおいて、該ペーストを基板上に塗布・乾燥後、露光した塗布膜の最下部での光硬化度を60%以上とする。

請求項（抜粋）：

無機微粒子と感光性化合物を含む有機成分を必須成分とする感光性ペーストにおいて、該ペーストを基板上に塗布・乾燥後、露光した塗布膜の最下部での光硬化度が60%以上であることを特徴とする感光性ペースト。

IPC (9件)：

G03F 7/004 501 ,  C03C 3/064 ,  C03C 4/04 ,  C03C 8/16 ,  C09D 4/02 ,  C09D 5/00 ,  C09D 7/12 ,  G03F 7/027 502 ,  H01J 9/02

FI (9件)：

G03F 7/004 501 ,  C03C 3/064 ,  C03C 4/04 ,  C03C 8/16 ,  C09D 4/02 ,  C09D 5/00 C ,  C09D 7/12 Z ,  G03F 7/027 502 ,  H01J 9/02 F

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 感光性ペースト
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-321794   出願人：東レ株式会社
• 感光性絶縁ガラスペースト
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-187208   出願人：東レ株式会社