特許
J-GLOBAL ID:200903088245927681
感光性ペースト
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-321794
公開番号(公開出願番号):特開平9-059544
出願日: 1995年12月11日
公開日(公表日): 1997年03月04日
要約:
【要約】【課題】高アスペクト比かつ高精度のパターン加工を可能にする感光性ペーストを提供する。【解決手段】無機微粒子と感光性化合物を含む有機成分からなる感光性ペーストにおいて、有機成分の屈折率が1.56〜1.80であることを特徴とする感光性ペースト。
請求項(抜粋):
無機微粒子と感光性化合物を含む有機成分からなる感光性ペーストであって、有機成分の屈折率が1.56〜1.80であることを特徴とする感光性ペースト。
IPC (5件):
C09D 7/12 PSK
, H01J 9/02
, H01J 17/16
, C08F290/00 MRM
, C08F299/00 MRM
FI (5件):
C09D 7/12 PSK
, H01J 9/02 F
, H01J 17/16
, C08F290/00 MRM
, C08F299/00 MRM
引用特許:
審査官引用 (7件)
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特開平3-163120
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感光性絶縁ペースト
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-188284
出願人:東レ株式会社
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ガラスペースト
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-316097
出願人:株式会社住友金属セラミックス
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