非接触座標計測装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西山春之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-328416
公開番号（公開出願番号）：特開平11-160023
出願日： 1997年11月28日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：

【要約】【課題】計測対象物を治具テーブル上の任意の場所に置いた状態で該計測対象物に計測のための座標系を設定すると共に、上記計測対象物の位置座標をその周囲から高精度に計測する。【解決手段】治具テーブル1の上方にてX,Y,Z軸方向に移動可能に設けられ上記治具テーブル1上に載置された計測対象物2の任意位置を光学的に撮像する撮像装置13と、上記治具テーブル1の上方にてX,Y,Z軸方向に移動可能且つ水平面内で首振り運動可能に設けられ上記計測対象物2の位置をその周側面方向からレーザ光を照射して計測するレーザ変位計14とを備え、上記撮像装置13によって治具テーブル1上の任意位置に載置した計測対象物2に予め設定された複数の基準点C1,C2を撮像してその位置を測定することにより上記計測対象物2の座標系を設定し、上記レーザ変位計14によって上記設定された座標系上の計測対象物2の位置座標を計測するようにしたものである。

請求項（抜粋）：

計測対象物を上面に載置する治具テーブルと、この治具テーブルの上方にてX,Y,Z軸方向に移動可能に設けられ上記治具テーブル上に載置された計測対象物の任意位置を光学的に撮像する撮像装置と、上記治具テーブルの上方にてX,Y,Z軸方向に移動可能且つ水平面内で首振り運動可能に設けられ上記計測対象物の位置をその周側面方向からレーザ光を照射して計測するレーザ変位計と、上記撮像装置及びレーザ変位計を任意方向に移動させる移動機構部と、上記各構成要素の操作及び動作制御並びに信号処理を行う制御処理装置とを備え、上記撮像装置によって治具テーブル上の任意位置に載置した計測対象物に予め設定された複数の基準点を撮像してその位置を測定することにより上記計測対象物の座標系を設定し、上記レーザ変位計によって上記設定された座標系上の計測対象物の位置座標を計測するようにしたことを特徴とする非接触座標計測装置。

FI (2件)：

G01B 11/00 H , G01B 11/00 Z

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開平4-125404
座標測定機におけるアライメントの決定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-006956 出願人：株式会社ニコン
特開昭62-126307

全件表示

前のページに戻る