特許

J-GLOBAL ID：200903064666097479

プローブ装置

発明者： 帯金 正 ,  秋山 収司
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 井上 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-088213
公開番号（公開出願番号）：特開2008-311618
出願日： 2008年03月28日
公開日（公表日）： 2008年12月25日
要約：

【課題】プローブカードを用いてウエハ上のICチップの電気的特性を調べるプローブ装置において、ウェハの搬送効率を高めて高スループット化された装置の提供。【解決手段】複数のウェハWが収納されたキャリアC1、C2を載置する第1と第2のロードポート11、12と、下面にプローブが形成されたプローブカードを備えた複数のプローブ装置本体と、鉛直軸回りに回転自在及び昇降自在に構成され、前記第1と第2のロードポート11、12と前記プローブ装置本体との間において前記ウェハWの受け渡しを行うためのウェハ搬送機構3と、をプローブ装置に設置して、このウェハ搬送機構3に互いに独立して進退自在な少なくとも3枚以上の基板保持部材を設ける。そしてウェハ搬送機構3によりキャリアC1、C2から少なくとも2枚のウェハWを受け取り、これら少なくとも2枚のウェハWを複数のプローブ装置本体内に順次搬入する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

多数の被検査チップが配列された基板を水平方向及び鉛直方向に移動可能な基板載置台に載せ、プローブカードのプローブに前記被検査チップの電極パッドを接触させて被検査チップの検査を行うプローブ装置において、 複数の基板が収納されたキャリアを載置するロードポートと、 下面にプローブが形成されたプローブカードを備えた複数のプローブ装置本体と、 鉛直軸回りに回転自在及び昇降自在に構成され、前記ロードポートと前記プローブ装置本体との間において前記基板の受け渡しを行うための基板搬送機構と、 前記プローブ装置本体及び前記基板搬送機構に対して制御信号を出力する制御部と、を備え、 前記基板搬送機構は互いに独立して進退自在な少なくとも3枚の基板保持部材を備え、 前記制御部は、前記基板搬送機構によりキャリアから少なくとも2枚の基板を受け取り、これら少なくとも2枚の基板を、空いている基板保持部材を利用して複数のプローブ装置本体内の検査済みの基板と順次交換するように制御信号を出力することを特徴とするプローブ装置。

IPC (3件)：

H01L 21/66 ,  H01L 21/677 ,  G01R 31/28

FI (3件)：

H01L21/66 B ,  H01L21/68 A ,  G01R31/28 K

Fターム (28件)：

2G132AA00 ,  2G132AE01 ,  2G132AE04 ,  2G132AE22 ,  2G132AF02 ,  2G132AL09 ,  4M106AA01 ,  4M106BA01 ,  4M106DD30 ,  5F031CA02 ,  5F031DA08 ,  5F031FA01 ,  5F031FA09 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031GA04 ,  5F031GA42 ,  5F031GA49 ,  5F031GA50 ,  5F031JA02 ,  5F031JA04 ,  5F031JA28 ,  5F031JA29 ,  5F031JA34 ,  5F031JA35 ,  5F031KA06 ,  5F031KA08 ,  5F031MA33

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 基板処理方法及びその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-063192   出願人：東京エレクトロン株式会社
• 特公平6-66365号公報:第1図
  

審査官引用 (3件)

• 特公平6-066365
  
• 基板処理方法及びその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-063192   出願人：東京エレクトロン株式会社
• プローブ方法及びプローブ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-238654   出願人：株式会社プラムファイブ