特許

J-GLOBAL ID：200903069403969686

プローブ方法及びプローブ装置

発明者： 梅津 良則
出願人/特許権者： 株式会社プラムファイブ
代理人 (1件)： 黒田 壽
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-238654
公開番号（公開出願番号）：特開2002-057196
出願日： 2000年08月07日
公開日（公表日）： 2002年02月22日
要約：

【要約】【課題】 ステージの移動時における誤差や、被検体の各被検査チップの電極の位置ずれに影響されること無く、該被検体の各被検査チップの電極とプローブカードのプローブ針とを正確に位置合わせしてプロービングを行うことができるプローブ方法及びプローブ装置を提供すること。【解決手段】 検査ステージ2の移動時の移動誤差を補正するための予め取得して記憶されているステージ移動誤差補正値と、選択した複数の被検査チップのパターンの画像を利用して、検査ステージ2上における基準点からの各被検査チップの座標をスケーリングして取得した該基準点からの被検体1の各被検査チップのパッドの位置ずれを補正するための被検査チップ位置ずれ補正値とにより、検査ステージ2の移動誤差及び各被検査チップの位置ずれを補正する。これにより、プロービング時に、被検体1の各被検査チップのパッドを、プローブカード7のプローブ針6に対して正確に位置合わせして接触させることができるようになる。

請求項（抜粋）：

多数の被検査チップが配列形成された被検体を、少なくともX、Y方向に移動可能なステージ上に載置し、該被検体の各被検査チップのプロービングを行うプロービング位置から所定距離だけ離隔したアライメント位置で該被検体のアライメントを行った後、該アライメント位置から該プロービング位置に該ステージを移動し、該被検体の被検査チップをプロービングするためのプローブカードのプロービング部位に、上記ステージ上に載置された被検体の位置基準となる基準点を位置合わせし、該基準点からの各被検査チップの予め登録された位置データによりステージを移動して、該プローブカードのプロービング針に上記被検体の各被検査チップのパッドを順次接触させて、該被検体の各被検査チップのプロービングを行うプローブ方法において、上記ステージの上記アライメント位置での実際の移動量を測定して取得した該ステージの移動誤差量と、該ステージの上記プロービング位置での実際の移動量を測定して取得した該ステージの移動誤差量とに基づいて、該ステージの移動時の移動誤差を補正するためのステージ移動誤差補正値を予め記憶しておき、上記プロービング位置で、上記プローブカードのプロービング針に、上記ステージ上に載置された被検体の位置基準となる基準点を位置合わせして、該プロービング位置での該ステージ上における該基準点の基準座標を取得し、該基準点の基準座標を取得した後、上記ステージをアライメント位置に移動して、上記被検体の複数の被検査チップを撮像手段により撮像し、撮像された複数の被検査チップのパターン画像を利用して、該ステージ上における上記基準点からの各被検査チップの座標をスケーリングし、上記基準点からの各被検査チップの予め登録された位置データと、上記スケーリングによる該基準点からの各被検査チップの座標とに基づいて、上記プロービング位置における該基準点からの上記被検体の各被検査チップのパッドの位置ずれ量を算出して、上記プロービング時における上記基準点からの各被検査チップの位置ずれを補正するための被検査チップ位置ずれ補正値を取得し、上記プロービング時に、上記ステージの移動時の移動誤差を補正するための予め記憶されているステージ移動誤差補正値と、上記基準点からの各被検査チップの位置ずれを補正するための被検査チップ位置ずれ補正値とにより、上記ステージの移動量を補正することを特徴とするプローブ方法。

IPC (4件)：

H01L 21/66 ,  G01R 1/06 ,  G01R 31/02 ,  G01R 31/28

FI (4件)：

H01L 21/66 B ,  G01R 1/06 E ,  G01R 31/02 ,  G01R 31/28 K

Fターム (31件)：

2G011AA16 ,  2G011AA17 ,  2G011AC06 ,  2G011AC14 ,  2G011AE03 ,  2G011AF07 ,  2G014AA02 ,  2G014AA03 ,  2G014AB51 ,  2G014AB59 ,  2G014AC10 ,  2G014AC12 ,  2G032AE04 ,  2G032AE08 ,  2G032AE09 ,  2G032AE12 ,  2G032AF04 ,  2G032AL01 ,  2G032AL03 ,  4M106AA01 ,  4M106BA01 ,  4M106CA16 ,  4M106DD05 ,  4M106DD10 ,  4M106DD13 ,  4M106DD30 ,  4M106DJ04 ,  4M106DJ05 ,  4M106DJ06 ,  4M106DJ07 ,  4M106DJ21

引用特許：

審査官引用 (4件)

• プローブ方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-104614   出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン山梨株式会社
• プロ-ブ装置およびその方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-085759   出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン山梨株式会社
• 電気回路検査方法及び装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-357400   出願人：株式会社日本マイクロニクス
• 半導体装置の試験方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-007925   出願人：富士通株式会社