特許

J-GLOBAL ID：200903064676703830

研磨液組成物

発明者： 藤井 滋夫 ,  大島 良暁 ,  内藤 宏一
出願人/特許権者： 花王株式会社
代理人 (1件)： 細田 芳徳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-219605
公開番号（公開出願番号）：特開2001-089746
出願日： 2000年07月19日
公開日（公表日）： 2001年04月03日
要約：

【要約】【課題】被研磨物の表面に表面欠陥を生じさせること無く、研磨速度が向上し且つ表面粗さを低減し得る研磨液組成物及び被研磨基板の研磨方法を提供すること。【解決手段】水と、研磨材と、中間アルミナと、キレート性化合物又はその塩とを含有し、中間アルミナの含有量が研磨材100重量部に対して1〜90重量部であることを特徴とする研磨液組成物及び研磨時の研磨液の組成が前記の研磨液組成となる条件下で被研磨基板を研磨することを特徴とする被研磨基板の研磨方法。

請求項（抜粋）：

水と、研磨材と、中間アルミナと、キレート性化合物又はその塩とを含有し、中間アルミナの含有量が研磨材100重量部に対して1〜90重量部であることを特徴とする研磨液組成物。

IPC (4件)：

C09K 3/14 550 ,  C09K 3/14 ,  B24B 37/00 ,  G11B 5/84

FI (4件)：

C09K 3/14 550 C ,  C09K 3/14 550 Z ,  B24B 37/00 H ,  G11B 5/84 A

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 研磨剤組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-212534   出願人：株式会社フジミインコーポレーテッド
• アルミナ粉末及びその製造方法並びに研磨用組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-369644   出願人：日産化学工業株式会社
• 加工用助剤組成物、研磨材組成物及び表面加工方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-257199   出願人：花王株式会社
• 特開平4-363385
  

審査官引用 (1件)

• 研磨剤組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-212534   出願人：株式会社フジミインコーポレーテッド