圧力センサ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐藤成示 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-336560
公開番号（公開出願番号）：特開平9-178595
出願日： 1995年12月25日
公開日（公表日）： 1997年07月11日
要約：

【要約】【課題】温度補償のために必要な圧力センサチップの温度特性計測時間を短縮できる圧力センサを提供する。【解決手段】貫通孔1aを設けた金属製のボディ1と、ボディ1に装着されたセンサエレメント2とを備え、センサエレメント2は、樹脂製の基台21と、測定対象である流体が流入する流入孔を有し基端部をその貫通孔1aの一方側に配して基台21に固着された金属製の圧力導入管22と、圧力導入管22の基端部端面に密着固定されて流入孔22aを遮蔽することによって圧力を電気信号に変換する圧力センサチップと、圧力センサチップと電気的に接続して基台21に固着された端子24bと、を有し、流体の圧力を測定する圧力センサであって、前記貫通孔1aの側壁と前記圧力導入管22の外周とを気密接合した接合部12を形成した構成にしてある。

請求項（抜粋）：

貫通孔を設けた金属製のボディと、ボディに装着されたセンサエレメントとを備え、センサエレメントは、樹脂製の基台と、測定対象である流体が流入する流入孔を有し基端部をその貫通孔の一方側に配して基台に固着された金属製の圧力導入管と、圧力導入管の基端部端面に密着固定されて流入孔を遮蔽することによって圧力を電気信号に変換する圧力センサチップと、圧力センサチップと電気的に接続して基台に固着された端子と、を有し、流体の圧力を測定する圧力センサであって、前記貫通孔の側壁と前記圧力導入管の外周とを気密接合した接合部を形成してなることを特徴とする圧力センサ。

IPC (3件)：

G01L 19/14 , G01L 9/04 101 , G01L 19/04

FI (3件)：

G01L 19/14 , G01L 9/04 101 , G01L 19/04

引用特許：

審査官引用 (2件)

圧力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-225342 出願人：松下電器産業株式会社, 北陸電気工業株式会社
特開平2-124440

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