基板検査用治具及びこれを用いた基板検査装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：小谷悦司 , 植木久一 , 伊藤孝夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-288171
公開番号（公開出願番号）：特開2005-055368
出願日： 2003年08月06日
公開日（公表日）： 2005年03月03日
要約：

【課題】複数の検査用接触子を被検査基板に確実な接触圧を与えて弾接させると共に、検査用接触子同士が接触することを抑制することができる基板検査用治具及びこれを用いた基板検査装置を提供する。【解決手段】治具6は、接触子61の先端部位を突出状態で貫通支持するプレート62と、接触子61の基端部位をそれぞれ貫通支持するベースプレート64と、接触子61の軸方向中間部をそれぞれ貫通支持するスライドプレート63と、プレート62とベースプレート64とを所定の間隔で互いに平行に支持すると共にプレート62とベースプレート64との間の中間位置においてプレート62と平行にスライドプレート63を支持する支柱65と、接触子61の基端部位とそれぞれ接触すると共に基端部位を衝止する電極パターン78とを備え、支柱65は、スライドプレート63を平行な面上で少なくとも一軸方向にスライド可能に支持するようにした。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

被検査基板が圧接されることにより、弾性を有する複数の長尺の検査用接触子を被検査基板に同時に接触させる基板検査用治具であって、前記複数の検査用接触子における一方端部を突出状態で貫通支持する第1のプレートと、前記複数の検査用接触子における他方端部をそれぞれ貫通支持する第2のプレートと、前記複数の検査用接触子の軸方向中間部をそれぞれ貫通支持する中間プレートと、前記第1、第2のプレートを所定の間隔で互いに平行に支持すると共に、前記第1のプレートと第2のプレートとの間の中間位置において前記第1、第2のプレートと平行に前記中間プレートを支持する支持部材と、前記複数の検査用接触子における他方端部とそれぞれ接触すると共に前記他方端部を衝止する複数の電極部とを備え、前記支持部材は、前記中間プレートを、その面方向で少なくとも一軸方向にスライド可能に支持するものであることを特徴とする基板検査用治具。

IPC (3件)：

G01R31/02 , G01R31/28 , H05K3/00

FI (3件)：

G01R31/02 , H05K3/00 T , G01R31/28 K

Fターム (9件)：

2G014AA01 , 2G014AB59 , 2G014AC09 , 2G132AA00 , 2G132AD15 , 2G132AE22 , 2G132AF02 , 2G132AF07 , 2G132AL03

引用特許：

出願人引用 (1件)

基板検査用検査治具および該検査治具を備えた基板検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-277404 出願人：日本電産リード株式会社, 株式会社コーヨーテクノス

審査官引用 (7件)

ファインピッチ基板検査用治具
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-032975 出願人：南斎高司
特開平4-278476
特表平4-502834

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