振動型ジャイロスコープ

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：野▲崎▼ 照夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-251248
公開番号（公開出願番号）：特開平8-094362
出願日： 1994年09月20日
公開日（公表日）： 1996年04月12日
要約：

【要約】【目的】振動型ジャイロスコープにおいて、振動子の振動特性を良好にして、高精度な角速度の検出ができるようにする。【構成】振動子10は、恒弾性体Aの表裏両面に圧電材料層B,Bが積層されている。振動子10に3枚の弾性片10a,10b,10cが形成されている。電極層により、弾性片10bにはf1,f2による遇力が与えられ、ある時点で+x方向となるように駆動される。このとき弾性片10cは+x方向へ、10aは-y方向へ変形するように振動駆動される。振動子が回転すると、弾性片10bと10cにはある時点で+y、弾性片10aには-yとなる振動が発生する。これが圧電効果による電圧として検出され角速度が求められる。弾性片10b,10cの側端14bと基部10dの側端14aとを不連続な形状とすることにより、弾性片の振動により基部10dに捻り応力などが作用せず、高精度な振動を実現できる。

請求項（抜粋）：

平板状の弾性体に2箇所の溝が形成されて互いに分離された3枚の弾性片が形成された振動子と、圧電効果により前記弾性片を板面方向へ変形できまたは板面方向への変形に基づく電圧を検出できる第1の駆動・検出手段と、圧電効果により前記弾性片を板厚方向へ変形できまたは板厚方向への変形に基づく電圧を検出できる第2の駆動・検出手段とを有し、前記一方の駆動・検出手段により弾性片を変形振動させながら振動子を回転させたときに、コリオリ力により弾性片に生じる変形振動に基づく電圧を他方の駆動・検出手段により検出して振動子の角速度を求めるものであって、3枚の弾性片の幅および前記2箇所の溝の間隔を加算した全幅寸法が、振動子の弾性片が形成されていない基部の幅寸法よりも短く形成されていることを特徴とする振動型ジャイロスコープ。

IPC (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

引用特許：

審査官引用 (12件)

特開平4-102013
角速度検出装置並びにその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-048229 出願人：セイコーエプソン株式会社
角速度検出素子の振動数調整方法と角速度検出素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-314164 出願人：株式会社豊田中央研究所

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