特許

J-GLOBAL ID：200903064807788608

超音波を用いた厚みゲージ及び粗さゲージ

発明者： フランク ジェイ.コッチ ,  レオン シー.バンダーボーク ,  デビッド ジェイ.ビーミッシュ
出願人/特許権者： デフェルスコ コーポレイション
代理人 (1件)： 石田 敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-233849
公開番号（公開出願番号）：特開平7-167639
出願日： 1994年09月28日
公開日（公表日）： 1995年07月04日
要約：

【要約】【目的】 厚みゲージに関し、基板上の被覆の厚みを基板及び被覆の組成に係わりなく正確に測定することを目的とする。【構成】 被覆内に超音波を放射すると共に超音波を受信し、その超音波信号に比例した変換信号を生成する変換器12を備える。この受信信号は、変換器/被覆の境界から反射された第1の信号と、被覆/基板の境界から反射された第2の信号とを含む。更に、超音波信号の放射をトリガするために変換器へパルスを送るパルサ24と、変換信号をサンプルしてサンプルデータを生成するサンプラ28と、パルサ及びサンプラを制御してサンプラで受信した信号の等価的時間サンプリングを行うタイマ32と、サンプルデータを基に被覆の厚みを計算する制御器とを備える。制御器は、サンプルデータに逆畳み込みを施し、第1の信号に相当するサンプルデータを第2の信号に相当するサンプルデータから識別する。

請求項（抜粋）：

超音波変換器と、前記変換器にパルスを送るパルサーと、前記変換器からの信号をサンプリングするサンプラーと、前記パルサー及びサンプラーを制御して、前記サンプラーによって受信された信号の等価的時間サンプリングを行うタイミング手段と、前記サンプルされた信号に基づいて第1の材料の厚さを計算する制御手段と、を具備する厚みゲージ。

IPC (2件)：

G01B 17/02 ,  G01B 17/00

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 膜厚測定方法及び装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-204922   出願人：日立建機株式会社
• 特開平4-040309
  
• 特開平4-310886
  
• 特開平4-125484
  
• 特開昭60-104253