特許
J-GLOBAL ID：200903064815603943
静電容量型圧力センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青木 宏義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-024702
公開番号（公開出願番号）：特開2007-205858
出願日： 2006年02月01日
公開日（公表日）： 2007年08月16日
要約：
【課題】製造工程においてキャビティ内の圧力に影響を与えず、ダメージを受けず、しかも高感度で圧力検出を行うことができる静電容量型圧力センサを提供すること。【解決手段】ガラス基板11には、第1及び第2導電部材12,13が埋設されている。ガラス基板11の主面11b上には、第1及び第2導電部材12と電気的に接続するように引き出し電極14a,14bがそれぞれ形成されている。ガラス基板11の主面11a側で露出する第1導電部材12上には、固定電極15が形成されている。ガラス基板11の主面11a上には、圧力センサの可動電極である感圧ダイヤフラム18aを有するシリコン基板18が接合部材17を介して共晶接合されている。固定電極15の外側には、環状のスペーサ16が形成されており、スペーサ16は、接合領域に延在する梁部16aを有する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
一対の主面を有し、前記一対の主面の一方の主面側に設けられた固定電極及び前記一対の主面の両方の主面で露出するように埋め込まれたシリコン製導電部材を有するガラス基板と、前記ガラス基板の一方の主面上に金-シリコン共晶接合されており、前記固定電極と所定の間隔をおいて対向して配置された可動電極を有するシリコン基板と、前記金-シリコン共晶接合の接合領域を区画すると共に、前記ガラス基板と前記シリコン基板との間の間隔を制御するスペーサと、を具備し、前記スペーサは、平面視において前記接合領域に延在する梁部を有することを特徴とする静電容量型圧力センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01L9/00 305D
, H01L29/84 Z
2F055AA40
, 2F055BB01
, 2F055CC02
, 2F055DD05
, 2F055DD07
, 2F055EE25
, 2F055FF11
, 2F055FF43
, 2F055GG13
, 4M112AA01
, 4M112BA07
, 4M112CA01
, 4M112CA03
, 4M112CA04
, 4M112CA11
, 4M112CA13
, 4M112DA02
, 4M112DA09
, 4M112DA13
, 4M112DA18
, 4M112EA02
, 4M112EA06
, 4M112EA11
, 4M112EA13
, 4M112FA20
