特許
J-GLOBAL ID：200903064829682463
半導体テスタの冷却装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
油井 透 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-004884
公開番号（公開出願番号）：特開平10-197606
出願日： 1997年01月14日
公開日（公表日）： 1998年07月31日
要約：
【要約】【課題】 テスタを密閉冷却することによって、排熱を外部に放出せず、騒音も不快感も感じず、テスタ室全体の空調設備の小形化を図り、環境汚染をなくす。【解決手段】 テスタ本体1を筐体6で覆って密閉する。筐体6とテスタ本体1との間に雰囲気ガス12の循環路13を形成する。循環路13に循環ファン15、16を設けて、テスタ本体1を冷却する雰囲気ガス12を循環させる。循環路13内に熱交換器8を設け、雰囲気ガス12と外部から筐体6内に供給される冷媒とを熱交換して雰囲気ガスを冷却する。一方、テストヘッド20も密閉化し、これにテストヘッド20を冷却する冷却ガス23を送り込んで循環させる配管24を接続する。配管24をテスタ本体1に形成した循環路13内に引き込み、配管24内を循環する冷却ガス23を循環路13内の熱交換器8と密閉接触させて、雰囲気ガス12とは混合しないように冷却ガス23を冷却する。
請求項（抜粋）：
テスタ本体とテストヘッドとを備えた半導体テスタの冷却装置において、上記テスタ本体を密閉化し、その内部にテスタ本体を冷却する雰囲気ガスを循環させる循環路を形成し、該循環路内に雰囲気ガスを冷却する熱交換器を設ける一方、上記テストヘッドを密閉化し、これからテストヘッドを冷却する冷却ガスを循環させる配管を延出し、延出した配管を、配管内を循環するテストヘッド側の冷却ガスがテスタ本体側の上記雰囲気ガスと混じり合わないように、上記循環路内に引き込んで上記熱交換器に接続したことを特徴とする半導体テスタの冷却装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 31/28 H
, G12B 15/02
