マイクロアクチュエータ及びこれを用いたインクジェットヘッド

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-336388
公開番号（公開出願番号）：特開平6-188472
出願日： 1992年12月16日
公開日（公表日）： 1994年07月08日
要約：

【要約】【目的】積層振動子をアクチュエータとするインクジェットヘッドのインク吐出効率、及び信頼性の向上を実現する。【構成】積層圧電素子の圧力伝達部材と接合する面の活性部、また圧力伝達部材の積層圧電素子と接合する面が凹形状又は凸形状になっていることにより、積層振動子の活性部のみを圧力伝達部材と接合することができ、不活性部をも固定したときに比べ変位効率、信頼性に優れるマイクロアクチュエータ、及びこれを用いたインクジェットヘッドを構成する。

請求項（抜粋）：

圧電材料と導電材料とを交互に積層して成る積層圧電素子と、これと接合される圧力伝達部材とによって構成されるマイクロアクチュエータに於て、前記積層圧電素子の、前記圧力伝達部材と接合される端面が、凹形状又は凸形状になっていることを特徴とするマイクロアクチュエータ。

IPC (3件)：

H01L 41/09 , B41J 2/045 , B41J 2/055

FI (2件)：

H01L 41/08 N , B41J 3/04 103 A

引用特許：

出願人引用 (7件)

特開平1-115638
特開平4-057374
特開平3-145775

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審査官引用 (16件)

特開平1-115638
特開平1-115638
特開平4-057374

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