特許

J-GLOBAL ID：200903064874268970

傾斜可能な複数の可動板とその傾斜を検出する機能を有するアクチュエーターアレイ装置

発明者： 有馬 通継
出願人/特許権者： オリンパス株式会社
代理人 (4件)： 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  村松 貞男 ,  風間 鉄也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-090056
公開番号（公開出願番号）：特開2004-294970
出願日： 2003年03月28日
公開日（公表日）： 2004年10月21日
要約：

【課題】傾斜可能な複数の可動板とその傾斜を検出する機能を有するアクチュエーターアレイ装置を提供する。【解決手段】光スイッチ装置本体102は、傾斜可能な可動板を有する可動板基板110と、可動板基板110に略平行に配置される受光素子基板130と、可動板基板110と受光素子基板130を支持する支持基板150と、面光源170とを有している。可動板114は、光ビームを反射する反射面122と、その反対側に設けられた反射面124と、反射面124の両側を延びる駆動コイル126とを有している。受光素子基板130は、面光源170からの光を通す貫通孔132と、貫通孔132の周囲に位置する複数の受光素子134を有している。受光素子134は入射した光ビームの強度に対応した信号を出力する。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

傾斜可能な複数の可動板とその傾斜を検出する機能を有するアクチュエーターアレイ装置であり、 複数の開口部を有する第一の基板であり、更に、各開口部の内側に位置する可動板と、各可動板を傾斜可能に第一の基板に連結している弾性部材とを有する第一の基板と、 可動板を傾斜させる駆動手段とを有しており、さらに、 可動板に設けられた反射面と、 少なくとも一つの光源と、 光源から発せられた光から光ビームを形成して可動板の反射面に照射する光ビーム照射手段と、 可動板の反射面で反射された光ビームに基づいて可動板の傾斜を反映した信号を出力する傾斜検出手段とを備えている、アクチュエーターアレイ装置。

IPC (4件)：

G02B26/08 ,  B81B3/00 ,  G02B7/00 ,  G02B7/198

FI (5件)：

G02B26/08 E ,  B81B3/00 ,  G02B7/00 D ,  G02B7/00 E ,  G02B7/18 B

Fターム (18件)：

2H041AA16 ,  2H041AB14 ,  2H041AC04 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ01 ,  2H041AZ06 ,  2H041AZ08 ,  2H043AA09 ,  2H043AA17 ,  2H043AA21 ,  2H043AA23 ,  2H043AB03 ,  2H043AB09 ,  2H043AD07 ,  2H043AD11 ,  2H043AD21 ,  2H043BB05 ,  2H043BB07

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 光学素子支持装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-354847   出願人：オリンパス光学工業株式会社