特許

J-GLOBAL ID：200903064875336820

洗浄液使用の洗浄装置

発明者： 入江 光則 ,  澤 裕之
出願人/特許権者： 岩谷産業株式会社 ,  新日本製鐵株式会社 ,  株式会社クラレ ,  クラレケミカル株式会社
代理人 (1件)： 北谷 寿一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-255399
公開番号（公開出願番号）：特開平7-108233
出願日： 1993年10月13日
公開日（公表日）： 1995年04月25日
要約：

【要約】【目的】 有機溶剤や純水等の洗浄液を使用した洗浄を簡単な装置で行えるようにする。【構成】 被処理部材を洗浄液で処理し、液切処理を施した後乾燥処理する洗浄装置において、酸素ー窒素分離膜で形成した中空糸を多数並列配置した分離器本体(9)を有する窒素ガス分離装置(7)を洗浄装置(1)に配置し、この窒素ガス分離装置(7)に供給した圧縮空気から分離精製した窒素ガスを洗浄装置(1)の処理室(2)に送給するように構成する。

請求項（抜粋）：

被処理部材を洗浄液で処理し、液切処理を施した後乾燥処理する洗浄装置において、酸素ー窒素分離膜で形成した中空糸を多数並列配置した分離器本体(9)を有する窒素ガス分離装置(7)を洗浄装置(1)に配置し、この窒素ガス分離装置(7)に供給した圧縮空気から分離精製した窒素ガスを洗浄装置(1)の処理室(2)に送給するように構成したことを特徴とする洗浄液使用の洗浄装置。

IPC (4件)：

B08B 3/10 ,  B01D 53/22 ,  H01L 21/304 351 ,  H01L 21/304 361

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平1-199431
  
• 特開平1-281124
  
• 化学的に活性な被洗浄物の洗浄方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-340989   出願人：島田理化工業株式会社