特許
J-GLOBAL ID：200903064887765654
洩れ検査装置の校正方法、洩れ検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (2件)：
草野 卓
, 稲垣 稔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-338353
公開番号（公開出願番号）：特開2005-106539
出願日： 2003年09月29日
公開日（公表日）： 2005年04月21日
要約：
【課題】 洩れ検査装置のドリフト量を正しく補正する。【解決手段】 第1校正モードで洩れのない被検査体を用いて第1測定期間における差圧変化値と、第2測定期間の差圧変化値をシール治具と被検査体との間の温度差毎に測定して第1及び第2温度差-差圧変化特性X1とX2を取得して記憶し、第2校正モードでは所定の温度差における第1及び第2温度差-差圧変化特性X1、X2の傾きa1、a2を求め、この温度差における第1測定期間及び第2測定期間の差圧変化値A1とA2を測定し、これら傾きと差圧変化値A1、A2よりX1、X2の温度差零における仮想切片b1,b2を求め、この仮想切片b1とb2により温度差零における正しいドリフト補正量をD1=b1-b2により算出し、温度差-差圧変化特性X1をX1′に修正し、この修正した温度差-差圧変化特性X1′を用いて検査時の温度差によるドリフト補正量を得る。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
被検査体と基準タンクに空気圧を印加し、両者間に発生する差圧値に応じて被検査体の洩れの有無を判定する洩れ検査装置において、
第1校正モードで洩れのない被検査体を用いて加圧・平衡期間を経て所定の第1測定期間における差圧変化値と、この第1測定期間終了時点から或る時間経過した第2測定期間の差圧変化値を環境温度と被検査体の温度の差毎に測定して第1温度差-差圧変化特性及び第2温度差-差圧変化特性として記憶し、
第2校正モードではこの第2校正モード実行時点の環境温度と被検査体の温度の差ΔT1及びΔT2における上記第1温度差-差圧変化特性及び第2温度差-差圧変化特性の傾斜値a1とa2を求めると共に洩れ成分b2と初期断熱変化成分に洩れ成分b2を含む成分b1を発生する被検査体と基準タンクに加圧・平衡期間を経て第1測定期間と第2測定期間を与えて、第1測定期間の差圧変化値A1と第2測定期間の差圧変化値A2を測定し、これら差圧変化値A1とA2を
A1=a1・ΔT1+b1
A2=a2・ΔT2+b2
と規定し、これらの式から上記温度差が零の場合のドリフト値b1とb2を、
b1=A1-a1ΔT1
b2=A2-a2ΔT2
で求め、これらの演算値から上記温度差が零におけるドリフト補正値D1を
D1=b1-b2=(A1-a1ΔT1)-(A2-a2ΔT2)
で求め、このドリフト補正値D1により上記第1校正モードで求めた第1温度差-差圧変化特性を修正し、
検査モードでは上記修正された第1温度差-差圧変化特性を用いて検査時のドリフト補正を施す、
ことを特徴とする洩れ検査装置の校正方法。
IPC (1件)：
FI (2件)：
Fターム (7件)：
2G067BB02
, 2G067BB03
, 2G067BB04
, 2G067BB28
, 2G067CC04
, 2G067DD03
, 2G067EE10
