特許
J-GLOBAL ID：200903064945116688

波長可変フィルタの製造方法および波長可変フィルタ

発明者：
紙透 真一

紙透 真一 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (2件)： 増田 達哉 ,  朝比 一夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-417134
公開番号（公開出願番号）：特開2005-173504
出願日： 2003年12月15日
公開日（公表日）： 2005年06月30日
要約：
【課題】可動部を固定部に対して確実に平行に変位させることができる波長可変フィルタの製造方法および波長可変フィルタを提供すること。【解決手段】鏡面が設けられた可動部31と、可動部31を変位可能に支持する支持部32と、可動部31に所定の距離だけ離間して対向する鏡面が設けられた固定部25と、可動部31を固定部25に対して変位させることにより、可動部31に設けられた鏡面と、支持部32に設けられた鏡面との距離を変更する駆動部とを備え、所定波長の光を透過させる波長可変フィルタ1の製造方法であって、波長可変フィルタ1の駆動部を作動させて、可動部31の固定部25に対する姿勢を検出し、前記検出結果に基づいて可動部31が固定部25に対して略平行となるように少なくとも1つの支持部32を加工し、各支持部32のばね定数を調整することを特徴とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
鏡面が設けられた可動部と、 前記可動部を変位可能に支持する少なくとも2つの支持部と、 前記鏡面に所定の距離だけ離間して対向する鏡面が設けられた固定部と、 前記可動部を前記固定部に対して変位させることにより、前記可動部に設けられた鏡面と、前記支持部に設けられた鏡面との距離を変更する駆動部とを備え、 前記可動部と前記固定部との間において干渉を生じさせ、所定波長の光を透過させる波長可変フィルタの製造方法であって、 当該波長可変フィルタの前記駆動部を作動させて前記距離を所定の距離にし、前記可動部の前記固定部に対する姿勢を検出し、前記検出結果に基づいて前記可動部が前記固定部に対して略平行となるように少なくとも1つの前記支持部を加工し、前記各支持部のばね定数を調整することを特徴とする波長可変フィルタの製造方法。
IPC (2件)：
G02B26/00 ,  G02B5/28
FI (2件)：
G02B26/00 ,  G02B5/28
Fターム (8件)：
2H041AA21 ,  2H041AB14 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ08 ,  2H048GA01 ,  2H048GA13 ,  2H048GA25 ,  2H048GA51
引用特許：
出願人引用 (4件)
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