波長選択型光検出器

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：村井隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-210325
公開番号（公開出願番号）：特開2000-031510
出願日： 1998年07月09日
公開日（公表日）： 2000年01月28日
要約：

【要約】【課題】フォトダイオードと、分布型ブラグ反射器からなるファブリ-ペロー干渉計を波長フィルタとして集積した構造で、小型で集積度が高く、しかも波長分解能に優れた波長選択型光検出器を提供する。【解決手段】シリコン基板1に形成されたフォトダイオード5と、該フォトダイオード5上に集積された下部分布型ブラグ反射器11及び上部分布型ブラグ反射器12により構成されるファブリ-ペロー干渉計10と、前記下部及び上部分布型ブラグ反射器11,12を隔てる距離を可変制御する駆動用電極16,17とを備えている。

請求項（抜粋）：

シリコン基板に形成されたフォトダイオードと、該フォトダイオード上に集積された第1及び第2の分布型ブラグ反射器により構成されるファブリ-ペロー干渉計と、前記第1及び第2の分布型ブラグ反射器を隔てる距離を可変制御する駆動手段とを備えたことを特徴とする波長選択型光検出器。

IPC (2件)：

H01L 31/0232 , G01J 3/36

FI (2件)：

H01L 31/02 D , G01J 3/36

Fターム (19件)：

2G020CA12 , 2G020CB43 , 2G020CC11 , 2G020CC23 , 2G020CC26 , 2G020CD03 , 2G020CD24 , 5F088AA01 , 5F088AB02 , 5F088BA20 , 5F088BB06 , 5F088DA17 , 5F088EA06 , 5F088GA04 , 5F088GA07 , 5F088GA09 , 5F088HA06 , 5F088HA07 , 5F088HA09

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開平2-257676
特開昭62-257032
共鳴キャビティを有する光ディテクタ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-101639 出願人：アメリカンテレフォンアンドテレグラフカムパニー

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審査官引用 (5件)

特開平2-257676
特開昭62-257032
共鳴キャビティを有する光ディテクタ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-101639 出願人：アメリカンテレフォンアンドテレグラフカムパニー

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