特許
J-GLOBAL ID:200903064947119358
α型結晶構造主体のアルミナ皮膜の製造方法、α型結晶構造主体のアルミナ皮膜で被覆された部材およびその製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
小谷 悦司
, 植木 久一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-125519
公開番号(公開出願番号):特開2004-332005
出願日: 2003年04月30日
公開日(公表日): 2004年11月25日
要約:
【課題】特定の中間層を形成することなく、α型結晶構造主体のアルミナ皮膜を、様々な種類の基材(基材上に予め下地皮膜が形成されたものを含む)上に形成する方法を提供する。【解決手段】基材(基材上に予め下地皮膜が形成されたものを含む)表面にメタルイオンボンバード処理を施した後、表面を酸化処理し、その後にアルミナ皮膜を形成する。
請求項(抜粋):
基材(基材上に予め下地皮膜が形成されたものを含む。以下同じ)上にα型結晶構造を主体とするアルミナ皮膜を形成する方法であって、基材表面にメタルイオンボンバード処理を施した後、表面を酸化処理し、その後にアルミナ皮膜を形成することを特徴とするα型結晶構造主体のアルミナ皮膜の製造方法。
IPC (3件):
C23C14/02
, B23P15/28
, C23C14/08
FI (3件):
C23C14/02 Z
, B23P15/28 A
, C23C14/08 A
Fターム (21件):
3C037CC04
, 3C037CC08
, 3C037CC09
, 3C037CC10
, 3C037CC11
, 3C046FF02
, 3C046FF10
, 3C046FF11
, 3C046FF13
, 4K029AA02
, 4K029AA04
, 4K029AA06
, 4K029BA44
, 4K029BC02
, 4K029BD05
, 4K029CA06
, 4K029DC03
, 4K029DC34
, 4K029EA08
, 4K029FA04
, 4K029FA05
引用特許:
引用文献:
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