特許

J-GLOBAL ID：200903064975803760

弾性表面波光偏向素子

発明者： 藤井 壽崇 ,  加島 篤 ,  藤井 一宏 ,  岡本 巌 ,  二井 裕之
出願人/特許権者： 宇部興産株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-205657
公開番号（公開出願番号）：特開平5-027278
出願日： 1991年07月23日
公開日（公表日）： 1993年02月05日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、粒界がなく弾性波の散乱もなくまた耐久性に優れ、さらに低温プロセスで作製可能な弾性表面波光偏向素子を提供する。【構成】 表面導波層の表面を伝搬する弾性表面波を用いて光を偏向させる素子において、弾性表面波を発生させるための圧電体層としてアモルファス強誘電体膜を用いたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

表面導波層の表面を伝搬する弾性表面波を用いて光を偏向させる素子において、弾性表面波を発生させるための圧電体層としてアモルファス強誘電体膜を用いたことを特徴とする弾性表面波光偏向素子。

IPC (2件)：

G02F 1/335 ,  G02B 6/12