特許
J-GLOBAL ID：200903064986160861

X線センサおよびX線検査装置

発明者：
鈴木 規之

鈴木 規之 について

, 
市原 勝

市原 勝 について

, 
奥村 一正

奥村 一正 について


出願人/特許権者：
松下電器産業株式会社

松下電器産業株式会社 について


代理人 (1件)： 滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-246394
公開番号（公開出願番号）：特開平11-084007
出願日： 1997年09月11日
公開日（公表日）： 1999年03月26日
要約：
【要約】【課題】 工場等で使用されるX線検査装置において、特に高精度検査を安価に実現するためのセンサ高分解能化を目的とする。【解決手段】 セル構造蛍光体変換部1内に蛍光体セル3を設け、光電変換部2内に画素4を設ける。セル構造蛍光変換部1はX線を光に変換する。変換された光は光電変換部2にて画像信号として取り出される。ここで、セル構造蛍光体変換部1内の蛍光体セル3と光電変換部2内の画素4は、1対1対応で位置合わせされているため、1つの蛍光体セル3の光は対応した一つの画素4に入力される。このように、蛍光体をセル構造化し画素単位に割り当てることで、画素単位の高い分解能を有するセンサが提供可能となる。
請求項（抜粋）：
複数の蛍光体セル構造を有しX線を光に変換する蛍光変換手段と、蛍光変換手段から発生する光を画像信号に変換する光電変換手段とを備え、光電変換手段は複数の画素で構成され、蛍光変換手段における蛍光体セルと光電変換手段の画素の位置が対応していることを特徴とするX線センサ。
IPC (3件)：
G01T 1/00 ,  G01N 23/04 ,  G02B 6/00 301
FI (4件)：
G01T 1/00 B ,  G01T 1/00 A ,  G01N 23/04 ,  G02B 6/00 301
引用特許：
審査官引用 (7件)
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