特許
J-GLOBAL ID：200903065012860854
精密洗浄方法および洗浄装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-119590
公開番号（公開出願番号）：特開平7-299426
出願日： 1994年05月09日
公開日（公表日）： 1995年11月14日
要約：
【要約】【目的】 被洗浄物の形状や材質にとらわれずに洗浄でき、いかなる部分でも歩留まりよく洗浄でき、さらに熱効率を向上させて熱消費量を低減し、また精密洗浄の品質が確保できる作業効率のよい洗浄方法と装置を得る。【構成】 被洗浄物3を有機ケイ素化合物を主成分とした洗浄液1に浸漬する工程と、前記洗浄液1に浸漬した被洗浄物3を70mm/s以下の引き上げ速度で洗浄液1界面より引き上げる工程とを備えている。有機ケイ素化合物は、直鎖状ポリジオルガノシロキサンおよび環状ポリジオルガノシロキサンより選ばれた少なくとも1種の低分子量ポリジオルガノシロキサンを用いると良い。
請求項（抜粋）：
被洗浄物を有機ケイ素化合物を主成分とした洗浄液に浸漬する工程と、前記洗浄液に浸漬した被洗浄物を70mm/s以下の引き上げ速度で洗浄液界面より引き上げる工程とを備えたことを特徴とする精密洗浄方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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