基板搬送機構及びそれを備えた基板処理装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小林良平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-122484
公開番号（公開出願番号）：特開2008-277698
出願日： 2007年05月07日
公開日（公表日）： 2008年11月13日
要約：

【課題】大幅なコスト増大を招来することなく、各処理工程毎に基板の欠損の有無の検査及び/又は基板の受け渡し完了の確認を行うことのできる機構及びそれを備えた基板処理装置を提供する。【解決手段】前段の工程から基板を受け取って搬送し、後段の工程へと引き渡す基板搬送機構において、矩形基板80の対向する2辺を保持する一対の支持アーム61,62を備えた基板支持手段と、前記基板支持手段を移動させる移動手段65〜68と、前記支持アーム61,62の先端に設けられ、基板80を検出して信号を発生するセンサ70a,bと、前記基板80の受け取り又は引き渡しの際にセンサ70a,bの前を通過する基板80の辺縁部分について前記センサ70a,bから出力される信号に基づいて基板の欠損の有無及び/又は基板の受け渡しの完了を判定する判定手段とを設ける。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

前段の工程から基板を受け取って搬送し、後段の工程へと引き渡す基板搬送機構において、 a) 矩形基板の対向する2辺を保持する一対の支持アームを備えた基板支持手段と、 b) 前記基板支持手段を移動させる移動手段と、 c) 前記支持アームの先端に設けられ、基板を検出して信号を発生する検出手段と、 d) 前記基板の受け取り又は引き渡しの間に前記検出手段の前を通過する基板の端縁部分について該検出手段から出力される信号に基づき、該基板の前記2辺における欠損の有無及び/又は基板の受け渡しの完了を判定する判定手段と、を有することを特徴とする基板搬送機構。

IPC (3件)：

H01L 21/677 , C23C 16/44 , H01L 21/205

FI (3件)：

H01L21/68 A , C23C16/44 F , H01L21/205

Fターム (30件)：

4K030CA07 , 4K030FA01 , 4K030FA10 , 4K030GA12 , 4K030KA41 , 4K030LA16 , 5F031CA02 , 5F031CA05 , 5F031FA02 , 5F031FA09 , 5F031FA12 , 5F031GA10 , 5F031GA13 , 5F031GA14 , 5F031GA15 , 5F031GA41 , 5F031GA55 , 5F031JA06 , 5F031JA14 , 5F031JA33 , 5F031MA28 , 5F031NA08 , 5F031NA09 , 5F031PA20 , 5F045AA08 , 5F045AA18 , 5F045AA19 , 5F045DQ17 , 5F045EN04 , 5F045EN06

引用特許：

出願人引用 (1件)

ガラス基板のエッジ部分の破損検出装置及びその方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-276531 出願人：ブルックスオートメーションアジアリミテッド

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